波長范圍

(nm)

分辨率

(nm)

焦距

(mm)

型號

結(jié)構(gòu)

掃描

功能

CCD/

MCP適配

成像

超高真空

（選項(xiàng)）

30 - 2,200

0.1

200

234/302

像差矯正S-N

●

●

●

30 - 1,200

0.05

500

235

S-N

●

●

●

105 - 20,000

0.04

670

207V

C-T

●

●

●

●

30 - 1,200

0.015

1,000

225

自動聚焦正入射

●

●

●

●

30 - 1,200

0.025

1,000

231

S-N

●

●

●

105 - 20,000

0.01

1,330

209V

C-T

●

●

●

●

30 - 250

0.005

3,000

2253

自動聚焦正入射

●

●

●

●

30 - 250

<0.002

6,650

265

離面正入射

●

●

●

●

<1 - 310

0.018

1,000

248/310

羅蘭圓掠入射

●

●

●

<1 - 80

0.02

5,650

251MX

平場變柵距光柵掠入射

●

●

8 - 120

0.08

800

OP-XCT

離面掠入射C-T

●

●

●

●

8 - 120

0.1

2,000

XCT

掠入射 C-T

●

●

●

●

10 - 170

0.05

292

251

平場輪胎面光柵掠入射

●

●

●