飛秒微加工系統(tǒng)方案

激光的發(fā)明加快了人類文明的進(jìn)步。激光以其高相干性，高能量等特點(diǎn)，使其已經(jīng)廣泛應(yīng)用于人類生活的各個(gè)領(lǐng)域，例如激光焊接，激光測(cè)距，激光雷達(dá)等等。其中激光加工也是一個(gè)重要領(lǐng)域。傳統(tǒng)的激光加工一般使用納秒量級(jí)脈沖激光或是像CO2激光（10.6um）這樣的強(qiáng)激光，隨著飛秒激光的逐漸普及，使用成本逐漸降低，使用飛秒激光作為加工光源也越來越受到關(guān)注。

飛秒激光加工的特點(diǎn)主要有：

1，飛秒激光脈沖與材料相互作用時(shí)間在一個(gè)非常短的時(shí)間（飛秒量級(jí)），因此可以實(shí)現(xiàn)材料的冷加工，

    2，飛秒激光可以聚焦到透明材料的內(nèi)部，實(shí)現(xiàn)真正的三維微加工，

3，超快激光可以使材料發(fā)生多光子吸收，可以突破光學(xué)衍射極限進(jìn)行加工，

飛秒微加工的研究領(lǐng)域：

1. 可用于飛秒3D打印，雙光子聚合等加工技術(shù)。

2. 可用于切割，打孔，燒蝕，表面微結(jié)構(gòu)等加工技術(shù)。由于飛秒激光持續(xù)時(shí)間很短，可以在易碎易燃材料上獲得高質(zhì)量的燒蝕形貌

3. 用于材料的內(nèi)部改性處理。例如用飛秒激光在玻璃內(nèi)部進(jìn)行光波導(dǎo)直寫，光存儲(chǔ)以及新相材料的制作

   飛秒激光直寫加工系統(tǒng)一般根據(jù)制作方式可分為基于掃描振鏡方式和基于樣品位移臺(tái)兩種。掃描振鏡的方式其優(yōu)點(diǎn)在于加工精度很高，但是加工的范圍有限

圖2：顯微系統(tǒng)簡(jiǎn)圖

飛秒激光推薦方案：

激光器中心波長(zhǎng)：1030nm,

輸出功率： >=20W@ 50-200KHZ, >400uJ@1-50KHz,

  脈寬：<290fs ;

一體化免維護(hù)設(shè)計(jì)；

三維位移臺(tái)推薦方案：

室溫 ·壓電運(yùn)動(dòng)?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺(tái) — 精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征

?范圍壓電掃描臺(tái)Carrier.S200.XY產(chǎn)品特?

• 兩維度XY 掃描運(yùn)動(dòng) 200 um × 200 um；

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1nm；

• 最?負(fù)載 500 g；

• 針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決?案；

• ?持?磁( .NM)和?真空( .UHV)選件升級(jí)

Carrier.S200.XY ?范圍壓電掃描臺(tái) — 技術(shù)參數(shù)